HỆ THỐNG PHUN PHỦ NHIỆT PLASMA
1730Hệ thống phun plasma có thể được phân loại theo một số tiêu chí.
Luồng khí plasma:
1 . dòng điện một chiều (DC plasma), nơi năng lượng được truyền đến tia plasma bằng dòng điện một chiều, hồ quang điện công suất cao
2. plasma cảm ứng hoặc plasma RF, trong đó năng lượng được truyền bằng cảm ứng từ một cuộn dây xung quanh tia plasma, qua đó dòng điện tần số vô tuyến xoay chiều đi qua
Môi trường tạo plasma:
1. plasma ổn định khí (GSP), nơi plasma hình thành từ khí; thường là argon, hydro, helium hoặc hỗn hợp của chúng
2. Plasma ổn định bằng hơi nước (WSP), trong đó khí plasma hình thành từ nước (thông qua bay hơi, phân ly và ion hóa) hoặc chất lỏng thích hợp khác
3. plasma lai - với sự ổn định khí và lỏng kết hợp, điển hình là argon và nước
Môi trường phun:
1. phun plasma trong khí quyển (APS), thực hiện trong không khí xung quanh
2. phun plasma trong khí quyển có kiểm soát (CAPS), thường được thực hiện trong một buồng kín, chứa đầy khí trơ hoặc được hút chân không
các biến thể của CAPS: phun plasma áp suất cao (HPPS), phun plasma áp suất thấp (LPPS), trường hợp cực đoan là phun plasma chân không (VPS, xem bên dưới)
phun plasma hơi nước
Một biến thể khác bao gồm việc có nguyên liệu nạp lỏng thay vì bột rắn để nấu chảy, kỹ thuật này được gọi là Giải pháp phun plasma tiền chất